半導體設備市場，又泛起了波瀾。
芯片制造實力被視為是未來全球半導體產業競爭的核心，而半導體設備作為芯片制造的關鍵，是近幾年討論的熱門話題，尤其是隨著美國對華制裁的推進，半導體設備領域更是被推上了風口浪尖。國際設備巨頭相繼開始弱化中國市場，以期減少美國的對華出口限制的沉重負擔。
與此同時，伴隨下游應用市場的低迷，產業鏈廠商相繼縮減資本開支，降低擴產步伐，半導體設備供應商訂單隨之下降。 美國應用材料幾天前在記者會上表示，“正在發生存儲芯片客戶大量取消和推遲訂單的情況?！?/p>
筆者在此前文中也描述了半導體設備大廠的“落寞”，在訂單減少、業績下滑、市值腰斬等多重壓力下，全球頭部半導體設備廠商正迎來“市場寒冬”。
環顧當下，半導體市場下行周期與貿易摩擦內外交錯，給半導體設備巨頭的業務帶來了很大程度的折損。但這同時也給置身其中的國產設備供應商提供了新的發展機會。
目前，以北方華創、中微公司、盛美上海、芯源微等一批為代表的國內半導體設備廠商經過數十年的發展，完成從0到1的積累過程。
隨著A股業績發布期的到來，半導體設備相關公司也向市場交出答卷，可借此一窺中國半導體設備產業2022年的發展狀況。
國產設備商2022年業績一覽
2022年中國半導體設備廠商的業績十分亮眼。
據不完全統計，截至2023年3月，100多家半導體產業相關公司發布了2022年業績預告，超半數以上企業實現了凈利潤同比增長，其中多為半導體設備和材料領域的上市公司。增速大于100%的公司中有北方華創、拓荊科技、芯源微、華海清科、長川科技等多家國產半導體設備公司。
北方華創
北方華創主營業務包括電子工藝裝備和電子元器件，其中設備布局涵蓋刻蝕、沉積、清洗、檢測等環節，下游覆蓋邏輯、存儲、功率、第三代半導體、光伏、面板等多領域，公司不斷擴大產品線，是國內首屈一指的平臺型半導體設備供應商。
1月11日，北方華創發布2022年度業績預告，預計2022年度營收區間為135-156億元，同比增長39.41%-61.10%；凈利潤21億元-26億元，同比增長94.91%-141.32%。
對于取得高速增長的原因，北方華創在公告中表示，公司積極采取多項措施，克服了疫情及供應鏈等不利因素的影響，保障了生產經營的正常運行，實現客戶訂單有序交付，全年電子工藝裝備和電子元器件業務經營業績均實現了持續增長。
中微公司
中微公司是一家微觀加工高端設備公司，主營業務是聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領域的等離子體刻蝕設備、深硅刻蝕設備和MOCVD設備等關鍵設備的研發、生產和銷售。
根據2月27日發布的業績快報數據顯示，中微公司2022年實現營業收入47.40億元，較上年同期增長52.50% ，再創歷史新高；歸屬凈利潤盈利11.698億元，同比增長15.66%。公司2022年新簽訂單金額約63.2億元，較2021年增加約21.9億元，同比增加約53.0%，訂單銷售比達到1.33。
中微公司表示，公司主打產品等離子體刻蝕設備是除光刻機以外最關鍵的微觀加工設備，是制程步驟最多、工藝過程開發難度最高的設備。由于光刻機的波長限制和2維芯片到3維芯片的發展，等離子體刻蝕設備越來越成為卡脖子的設備，也成為十大類關鍵設備市場最大的一類，占半導體前道設備總市場的約25%。公司布局的薄膜設備（主要是化學薄膜和外延設備）是除光刻機和刻蝕機外第三大設備市場。此外，中微公司通過投資布局了第四大設備市場——光學檢測設備。公司另一個主打產品MOCVD設備是三五族化合物半導體制造的最關鍵的核心設備。
至2022年底，中微公司累計已有3311臺等離子體刻蝕和化學薄膜的反應臺，在國內、亞洲和歐洲的106條生產線，全面實現了量產和大量重復性銷售，贏得了眾多客戶和供應廠商的信任和支持。
其中，CCP電容性高能等離子體刻蝕設備在國內外持續獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高，在國際最先進的5納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上均實現了多次批量銷售，已有超過 200臺反應臺在生產線合格運轉；ICP電感性低能等離子體刻蝕機自推出以來，不斷地核準更多的刻蝕應用，迅速的擴大了市場并收到領先客戶的批量訂單，已在超過20個客戶包括邏輯、DRAM和3DNAND等各類芯片生產線上進行超過100多個ICP刻蝕工藝的量產，并持續擴展到更多刻蝕應用的驗證，發展勢頭強勁。同樣應用ICP技術的8英寸和12英寸深硅刻蝕設備在先進系統封裝、2.5維封裝和微機電系統芯片生產線等刻蝕市場繼續獲得批量重復訂單。
除刻蝕設備外，公司制造的氮化鎵基 LED 的關鍵設備 MOCVD設備在新一代 Mini-LED 產業化中，在藍綠光 LED 生產線上取得了絕對領先的地位。
此外，中微公司的各種新產品開發，包括用于更先進微觀器件制程的極高深寬比刻蝕設備、LPCVD薄膜設備、EPI外延設備和多種MOCVD設備，也取得了可喜的進展，即將為公司貢獻銷售收入。
盛美上海
盛美上海公司的主要產品包括半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備等，研發出全球首創的SAPS/TEBO兆聲波清洗技術和Tahoe單片槽式組合清洗技術，可應用于28nm及以下技術節點的晶圓清洗領域，可有效解決刻蝕后有機沾污和顆粒的清洗難題。
盛美上海年報顯示，2022年公司實現營業收入為28.73億元，同比增長77.25%；歸屬于上市公司股東的凈利潤為6.68億元，同比增長151.08%；扣除非經常性損益后的歸屬于上市公司股東凈利潤為6.90億元，同比增長254.27%。
盛美上海表示，受益于國內半導體行業設備需求的不斷增加，銷售訂單持續增長。同時，公司新客戶拓展、新市場開發等方面均取得一定成效，新產品得到客戶認可，訂單量穩步增長。其中，公司來自中國大陸區域的業務收入為27.22億元，同比增長78.03%；中國大陸區域外主營業務收入為0.34億元，同比增長86.44%。
受益于半導體設備市場發展及公司產品競爭優勢和公司多年產能擴張，2022年盛美上海半導體清洗設備和其他半導體設備（電鍍、立式爐管、無應力拋銅等設備）生產量和銷售量均有提升。
同時，盛美上海仍在加大產業投資。在年報披露其已控股參股半導體專用設備零部件在內的四家公司基礎上，日前，公司聯合通富微電成立南通全德學鏤科芯二期創投基金管理合伙企業（有限合伙），注冊資本7.01億元。盛美上海在年報中表示，公司考慮在有機成長的同時，通過投資并購國內外高端的半導體設備廠商或與海內知名設備廠商進行合作開發，使公司能夠覆蓋更多的產品品類、占領更多細分市場。公司會重點關注清洗設備、芯片制造、封裝測試等領域的設備公司，以及其他化合物半導體領域設備公司。
同時，盛美上海還公告了其布局全球化的新動向，公司擬以超募資金2.45億元向全資子公司盛美韓國增資，以新建并實施盛美韓國半導體設備研發與制造中心項目。公司表示，此舉可有效改善韓國子公司的研發生產條件，提升其研發實力及產業化能力；同時進一步完善公司的全球化產業布局，加快推進公司有競爭力的差異化產品在國際客戶端的驗證與推廣，增強公司對全球客戶服務能力。
綜合近年來的業務發展趨勢，盛美上海預計2023年全年的營業收入將在人民幣36.5億-42.5億元之間，同比增長27.0%-47.9%，維持高速增長。
拓荊科技
拓荊科技主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務，主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備三個產品系列，產品主要應用于集成電路晶圓制造，以及TSV封裝、光波導、Micro-LED、OLED顯示等高端技術領域。
2月26日，拓荊科技發布的2022年業績快報顯示，2022年公司實現營業收入17.06億元，同比增長125.02%；歸母凈利潤為3.69億元，同比增長438.09%。
高速成長的背后，一方面是由于國內主要晶圓廠半導體設備需求增加，令公司銷售訂單大幅增加，營業收入維持高增長趨勢；另一方面得益于公司加大產品研發投入，產品結構不斷優化，產品競爭力持續增強，并進一步拓展客戶群體，使得銷售訂單大幅增加，營業收入維持高增長趨勢。華海清科
華海清科公司主要從事化學機械拋光（CMP）、研磨等設備和配套耗材的研發、生產、銷售，以及晶圓再生代工服務，產品可廣泛應用于極大規模集成電路晶圓制造、封裝、微機電系統制造、硅材料制造等領域。
華海清科的業績表現同樣亮眼，2022年公司實現營業收入16.82億元，同比增加109.03%；歸母的凈利潤5.15億元，同比增加159.97%。
報告指出，2022年公司業績變動主要原因是市場需求增加以及客戶對公司產品認可度的繼續提升，公司積極把握集成電路產業需求拉動所帶來的市場機遇，克服了疫情及供應鏈等不利因素的影響，持續加大研發投入和生產能力建設，增強了公司核心競爭力，全年 CMP 設備及配套服務、晶圓再生業務等都實現了持續增長。公司新增訂單穩步增長，在手訂單不斷增加，為公司業績的快速增長提供了有力保障，收入規模持續增長。
2022年6月8日，華海清科計劃募資10億元，超募26億元于科創板上市。
據當時消息披露，華海清科上市之后短期內的主要發展方向仍然是聚焦于化學機械拋光機的產能釋放和制程升級上。此外，公司計劃利用募集資金對公司核心產品的產能擴充同時開展面向14nm及以下制程先進半導體制造CMP、減薄多項關鍵技術及系統的創新開發及升級，助力公司進一步提升創新研發能力，增強技術儲備，擴大公司市場份額，提高整體銷售收入，加強公司持續盈利能力，鞏固并增強公司的市場地位，提升公司的整體競爭力及品牌知名度。
芯源微
芯源微是國內領先的高端半導體裝備制造企業，所開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品，已形成完整的技術體系和豐富的產品系列，可根據用戶的工藝要求量身定制。產品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。
2月22日，芯源微財報數據顯示，公司2022年全年實現營業收入13.85億元，同比增長67.12% ；實現歸母凈利潤1.97億元，同比增長約155.31%。
對于2022年的業績表現，芯源微表示，公司產品競爭力不斷增強，新簽訂單規模同比大幅增長。公司集成電路前道晶圓加工領域產品收入實現快速放量，同時保持小尺寸（如LED、化合物半導體等）及集成電路后道先進封裝領域產品收入穩步增長，公司利潤持續增長。
2022年底，芯源微還正式發布了前道浸沒式高產能涂膠顯影機新品，實現了在前道晶圓加工環節28nm及以上工藝節點的全覆蓋，并可持續向更高工藝等級迭代。
新益昌
新益昌公司主要從事LED、半導體、電容器、鋰電池等行業智能制造裝備的研發、生產和銷售，是國內LED封裝、電容器老化測試智能制造裝備領域的領先企業，同時憑借深厚的研發實力和持續的技術創新能力，成功進入了半導體封裝設備和鋰電池設備領域。
近日，新益昌發布業績快報，2022年實現營業總收入11.84億元，同比下降1.08%；歸屬于母公司股東的凈利潤2.03億元，同比下降12.46%。
對于業績變動，新益昌表示，2022年公司緊跟下游客戶技術發展的步伐，對各板塊業務積極投入研發人員、銷售人員和資金，聚焦智能制造裝備行業發展主線，在行業中繼續保持優勢，但受疫情、宏觀經濟環境等多方面因素的擾動，公司半導體設備收入出現一定程度下滑。未來公司將積極應對外部市場環境的變化，堅持既定的戰略規劃，提升產品競爭力，積極開拓市場，加強成本管控，提升公司整體經營水平。
華峰測控
華峰測控是國內最早進入半導體測試設備行業的企業之一，始終聚焦于模擬和混合信號測試設備領域。
華峰測控發布2022年度業績快報顯示，2022年公司實現營業收入10.71億元，同比增長21.89%；歸屬于母公司所有者的凈利潤5.25億元，同比增長19.67%。
報告指出，2022年公司持續受到疫情影響，疊加半導體市場景氣度的不斷低迷，給公司的業績增長帶來了巨大的挑戰。在此期間，公司堅持既定的發展策略，不斷優化產品結構，同時加強新產品研發和市場開拓，不斷提高產品的市場占有率，保證了業務的持續穩定增長。
至純科技
至純科技的主營業務主要包括半導體制程設備、工藝支持設備的研發和生產銷售，以及由此衍生的高純工藝系統建設、電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務。
作為國內半導體清洗設備與高純工藝系統的佼佼者，隨著濕法設備業務的持續放量，至純科技進入快速發展期。
1月29日，至純科技對外公布了一則關于公司2022年度新增訂單情況的公告。至純科技表示，公司所在行業發展穩定，公司全體成員克服了疫情帶來的影響，為實現用戶價值而努力。公司2022年度業務保持穩步增長，新增訂單總額為42.19億元，同比增長30.62%，其中半導體制程設備新增訂單18.00億元，同比增長60.71%。
長川科技
1月19日，長川科技披露2022年度業績預告，公司預計2022年度實現歸屬于上市公司股東的凈利潤4.50億-5.20億元，同比增長106.20%-138.27%。
公司經營業績較上年同期上升的主要變動原因包括：業務規模的穩步擴大以及各類產品收入結構優化，高端品類收入占比持續上升等。長川科技主營產品包括測試機、分選機、探針臺、AOI設備和自動化設備。
業績背后，國產設備行業釋放出哪些信號？
從多家半導體設備廠商業績看來，增長動力多指向了半導體前道加工領域。不難看出，在薄膜沉積、刻蝕、CMP和清洗設備等半導體前道工藝設備環節中，相關上市公司實現了1-2倍的業績增長。
2022年，全球半導體產業鏈在疫情、需求收縮、地緣政治等因素影響下進入了行業的下行周期。不過，受益于近兩年的擴產大潮以及國產替代契機，2022年大陸上市設備企業凈利潤較多實現較大幅度上升。而且，在半導體設備國產替代化加速背景下，國內半導體廠商的合同負債去年均實現大幅增長。
綜合來看，下游需求、研發突破和產品放量構成國產半導體設備公司的成長主線，市場競爭力正在逐步提升。
但從行業現狀來看，國內設備廠商目前仍然只是“點”的突破，尚未實現“面”的普及，缺乏成套設備的供應，設備的精度也不夠，只能滿足中低端芯片的生產，難以打入高端芯片生產線。
過去很多年，先進半導體設備技術主要由美歐日等國主導，其中美國的刻蝕設備、離子注入機、薄膜沉積設備、測試設備、程序控制、CMP等設備的制造技術位于世界前列；荷蘭憑借ASML的高端光刻機在全球處于領先地位；日本則在刻蝕設備、清洗設備、測試設備等方面具有競爭優勢。
面對激烈的市場競爭環境，光大證券分析指出，在半導體前道設備環節，短期受到出口管制、晶圓廠招標延遲等影響，國產化核心邏輯仍在持續強化。據SEMI數據顯示，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%。
目前，產業鏈上下游企業都在嘗試攻關半導體核心設備。隨著國產半導體設備技術的不斷演進，國產設備廠商開始逐漸分食屬于美日韓廠商的市場蛋糕。長期來看，國產半導體設備正在尋找新市場來彌補不足。
據SEMI數據顯示，2022年全球半導體設備市場規模高達1085億美金，刷新歷史最高紀錄。其中，中國大陸地區為全球最大的設備市場，2022年市場規模已達到320億美元。
進入2023年，在全球經濟增速下行、高通脹、終端需求下滑、芯片庫存積壓的背景下，全球芯片公司短期內仍會承壓前行。尤其是在下游客戶減產、縮減投資等限制條件下，短期內半導體設備廠商的前途顯得令人憂心忡忡。
SEMI預測，2023年半導體設備市場將出現4年來的首次負增長，2023年全球半導體設備市場規模將年減16%至912億美元，中國大陸、中國臺灣、韓國分居前三。其中，晶圓廠設備市場將年減17%至788.4億美元，封裝設備市場年減13%至52.9億美元，測試設備市場年減7%至70.7億美元。而在前段設備部分，邏輯制程設備市場將較2022年減少9%，DRAM設備市場將大幅減少25%至108億美元，NAND Flash設備市場將下滑36%至122億美元。
與此同時，美國近年來一再泛化國家安全概念，濫用出口管制措施，不斷擾亂國際經貿秩序和破壞全球產業鏈供應鏈安全穩定，甚至意圖拉攏或施壓盟國來阻礙芯片等產品的正常國際貿易。
2023年是半導體設備行業挑戰與機遇并行的一年，內憂外患之下，國產替代緊迫性進一步提高，半導體供應鏈自主可控戰略意義重大。
一方面，隨著地緣政治不確定性不斷升級，芯片制造企業也不愿意將雞蛋放在同一個籃子中，這也給國內設備廠商提供了進入市場的契機。
國內廠商進軍前道半導體設備市場雖然存在著困難，但經過數十年的累積，國內廠商也具備了向前道核心設備市場進軍的條件。結合當前國外設備巨頭業績不加，國內半導體設備廠商的業績普遍向好、逆勢增長，這在當前局勢下無疑給半導體設備國產化注入了信心。
另一方面，我國目前已經成為全球最大的終端消費和制造中心，全球半導體產業逐步向大陸轉移。在半導體設備公司的戰略規劃上，短期來看，半導體晶圓廠產能持續建設，尤其是大陸頭部晶圓廠繼續逆勢大規模擴產，帶動半導體設備需求旺盛；中長期，半導體供應鏈加速本土替代，國產半導體設備廠商將持續受益。
寫在最后
整體來看，中國半導體產業的國產化“知易行難”。除了技術差距和美國限制之外，在投資、人才、市場競爭、戰略決心和耐心等方面，中國都還面臨著很大挑戰。
雖知易行難，但行勝于言。（文：半導體行業觀察）
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